HD-Plasm-A-SINOCH

High Density CVD/PVD Plasmas for a-SiNOCH coatings

(focus on plasma/surface interface)



 


ANR Blanc

Durée : 42 mois
Aide totale financée : 490 000 €

Coordinateur : PROMES CNRS-UPVD
Partenaires : IMN (Nantes), ICCF (Clermont-Ferrand), IJL (Nancy)